捷銳U53系(xì)列高純減壓器(qi)
作者:admin 發布時間(jiān):2025-12-19 13:39:25 浏覽次數 :771
U53系列(lie)減壓器适用于(yú)高純氣體應用(yòng),采用内部無螺(luo)紋、非焊接膜🈲片(pian)結構。膜片和閥(fa)體的密封采用(yong)
了硬密封的設(she)
計,降低洩漏率(lǜ),同時提高了安(an)全性和使用壽(shou)命。
結構特點
316L不(bú)鏽鋼母體
膜片(pian)式硬密封,洩漏(lòu)率低
可采用面(miàn)闆安裝和後座(zuò)安裝
壓力表标(biāo)準連接:1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内(nèi)部電解抛光
專(zhuān)爲高純淨應用(yong)生産制造
高潔(jie)淨的組裝和包(bāo)裝适用于高潔(jié)淨度的半導體(ti)行業
使用壽命(mìng)長
100%氦氣測試
材(cái)質
母體:316L, Hastelloy®
閥座:PCTFE
膜(mo)片:Elgiloy®, Hastelloy
上蓋:316, Hastelloy
®
功能特(te)性
流量:Cv=0.054
母體洩(xiè)漏率:2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩漏(lòu)率:4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗證壓(yā)力:最大額定壓(yā)力的150%
設計爆破(pò)壓力:最大額定(ding)壓力的400%
工作條(tiáo)件
最大的入口(kǒu)壓力:300 psi (20 bar)
出口壓力(lì):0~30 psi (2 bar)
溫度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面(miàn)
标準:Ra 20 µin
内部容積(ji)
9.3 cc